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上海半導體展丨全球三大半導體設備制造廠都是HIWIN的客戶

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上海半導體展丨全球三大半導體設備制造廠都是HIWIN的客戶

2019/03/20

bbin电子游戏 www.xdvor.icu SEMICON China 2019將于2019年3月20-22日在上海新國際博覽中心舉辦。

HIWIN 高精密傳動部件與驅動控制的機電整合,在工業4.0智能制造趨勢下扮演重要角色。HIWIN集團產品包括 : EFEM(晶圓移載系統)、晶圓機器手臂、靜音式直線導軌、高防塵絲杠???、直線電機、直驅電機、Air Bearing精密定位平臺等,可搭配納米級伺服驅動控制器及通訊接口與工廠系統整合,應用于半導體、OLED、Micro-LED、PCB等高科技產業的工藝設備提供完整方案。

HIWIN集團為跨國性企業,客戶遍及亞洲、歐洲、美洲、非洲、大洋洲,涵蓋面廣泛包括: 航天、半導體、FPD、LED、光伏、醫療制藥、精密檢測、工具機、食品、紡織、廣告、自動化等產業。

 

SEMICON China 2019

時間: 2019/3/20-22

展位: N4館4409

地點: 上海新國際博覽中心

 

01.晶圓移載系統 (Equipment Front End Module)

EFEM為半導體晶圓移載系統,透過整合潔凈機器手臂,可實現低微粒塵產生。EFEM擁有高整合式設計,可對應客戶不同需求,應用于相關制程中,并且確保在生產設備和制程上更有效率,更有競爭力。以HIWIN多樣的產品種類進行垂直整合,搭配自行研發之系統控制,對應客戶不同需求并應用于制程中??裳∨鋀afer ID Reader、RFID、尋邊器、Load Port等周邊???,并依照產品規格進行系統規劃。

特色:

● 使用真空吸取晶圓,適用晶圓尺寸8、12吋。

● 支持RS-232,Ethernet通訊。

● 簡易人機接口,可靈活設定運送規則。

● 內建手臂取放宏指令,讓用戶可簡易操作手臂。

● HIWIN關鍵零組件:伺服電機、直驅電機、直線導軌、滾珠絲杠、單軸機器人。

 

02.晶圓機器人(Wafer Robot)

機器人中的各關鍵功能部件,如伺服電機、直驅電機、直線導軌、滾珠絲杠等,皆由HIWIN生產,加上軟件自行開發,具軟硬件垂直整合優勢。HIWIN Wafer Robot采用高精密,高剛性的直驅馬達,重復精度達±0.02mm,回轉半徑小,空間使用率高,可依客戶生產需求提供客制化服務,提升客戶競爭力。適用于半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。

 

單臂

 

雙臂

 

03.SSA單軸直線電機平臺

特點:

● 最短交貨日期1周

● 最高速度5000mm/s

● 高分辨率0.1μm

● 最佳重現精度±1μm

● 搭配HIWIN驅動器D1

應用產業:

● 適合電子自動化產業

 

04.納米空氣軸承定位平臺

產品特性:

● Dynamic-balance / 動態平衡

采用獨特的反作用力平衡與動態慣性補償運動控制技術,以動制動,主動消除納米定位外部干擾源,樹立新一代動態微動精準定位之新標準。

● ?stro-precision / 精密定位

結合直接驅動線性馬達、真空預壓多孔質空氣軸承、精密SiC軸承導軌以及高穩定伺服馬達驅動器,支持長時間可靠的快速納米定位。

● Modularize & Organic / 綠能制造

高度??榛躺杓樸脛圃?,采用高效率直接驅動,超低損耗空氣軸承,符合目標市場Class10之超低發塵潔凈需求。

● Novel-Design / 前瞻設計

動態反作用力平衡、動態慣性補償與姿態誤差調整機構已申請主要工業先進國家專利,展現高階運動平臺的優秀地位。

 

05.力矩馬達Torque Motor

力矩馬達旋轉平臺采用直接驅動無須減速機構,馬達和荷重之間有極佳之剛性連接,搭配伺服驅動控制可發揮極佳加速度及運動的平穩性。由于中空軸的形式, 力矩馬達旋轉平臺特別適用于自動化任務,可由中空軸跑線或穿過相關配件。全系列使用交叉式滾柱軸承,兼具高扭力和高動態的特性。

 

06.并聯式機器手臂(Delta Robot)

應用于各種行業之自動化產線需求,緊湊的設計提供使用者于有限的安裝空間內有更大的靈活性,同時達到更快的加速度,可提供高速搬運和揀選作業,并保持高精度以及穩定的運動性能。

上銀Delta機器人具有 IP 65 的防護等級,使各產業需求者可實現自動化產線應用達到遵守安全衛生規范;依照EN1672-2之設計,使食品產業亦可使用機器手臂達到自動化生產并避免產線污染,可符合食品良好衛生規范準則。

 

07.HIWIN單軸機器人全???/strong>

● HIWIN 單軸機器人主要是透過??榛杓?,將滾珠絲杠、直線導軌,搭配直線電機與驅動器整合。藉由高精度的滾珠絲杠做為傳動機構,達到高精度、高效率、體積小與快速安裝等特性。

● 提供客戶機構與電控的整合解決方案,結合單軸機器人、直線電機與驅動器,大幅降低客戶的組裝時間與安裝空間。

● 適用于高精密產業、半導體產業、醫療自動化產業、FPD面板搬運、檢測或試驗環境。

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